Материал раскрывает конструкцию гелиевого масс-спектрометрического течеискателя и принципы его работы.
Комплект масс-спектрометрического течеискателя Leaklab L для организации поста контроля герметичности
Интегрированное решение для запуска и эксплуатации участка ПВТ (поиска утечек) «под ключ»: от поставки оборудования до разработки методик, обучения персонала и полного метрологического сопровождения. В основе лежит гелиевый масс-спектрометрический течеискатель ZQJ с селективной регистрацией He (m/z = 4) и выводом результатов измерений в Па·м³/с. Комплект подготовлен для работы как по вакуумному методу, так и по щуповому методу, включая сервисные и метрологические принадлежности. В России продукция KYKY Technology Co., Ltd. официально представлена лабораторией Ликлаб, обеспечивающей поставку, сервис и поверку.
Состав поставки
- Течеискатель ZQJ (гелиевый, масс-спектрометрический) с испытательным портом KF-25.
- Первичная поверка течеискателя с регистрацией результатов в АРШИН и полным пакетом документов.
- Комплект обдува гелием (КОГ) с редуктором для подачи He и быстросъёмными соединениями.
- Щуп для точного поиска и локализации утечек, длина 5 м.
- Транспортировочный кофр для защиты прибора при выездных работах и отправке на поверку.
- Эталонная гелиевая течь для внешней калибровки и верификации чувствительности (обеспечена прослеживаемость к государственным эталонам).
- Клапан KF-25 на входной порт и переходник П-KF-25 для подключения внешней эталонной течи.
- Сильфон вакуумный KF-25, длина 1 м.
Ключевые преимущества
|
Характеристика
|
Техническая реализация / польза
|
|
Высокая стойкость к «массивным» течам на старте
|
Турбомолекулярный насос Pfeiffer SplitFlow допускает запуск вакуумных испытаний при давлении p ≥ 2500 Па, что снижает требования к предварительной откачке контролируемого изделия.
|
|
«Чистая» форвакуумная магистраль
|
Насос ULVAC GHD-031B с магнитной муфтой и клапаном обратного потока предотвращает попадание масляного аэрозоля в контролируемый объект и в вакуумную часть прибора.
|
|
Двойной контроль вакуумных условий
|
Ионизационный датчик в анализаторе и датчик Пирани (Pfeiffer) на входном тракте обеспечивают корректные блокировки и защищают источник ионов от перегрузки.
|
|
Низкий фон и стабильный ноль
|
Схема «противотока» и кинематическое разделение газовых трактов исключают прямой проход газов через анализатор; иридиевые катоды имеют ресурс службы 5–7 лет.
|
|
Готовность к интеграции в линию
|
Интерфейсы RS-232 (D-Sub 9) и I/O (D-Sub 37), функции архивирования и мониторинга потока в реальном времени; сенсорный интерфейс с возможностью выноса на пульт управления линии.
|
|
Комплексная поддержка в России
|
Курс повышения квалификации «Основы течеискания и вакуумной техники», выездной сервис, ЗИП и методическая поддержка, организуемые лабораторией Ликлаб как официальным представителем KYKY Technology Co., Ltd. в России.
|
Зачем нужна первичная поверка
Первичная поверка фиксирует исходное метрологическое состояние течеискателя и обеспечивает прослеживаемость результатов к государственным эталонам. Это даёт оператору и заказчику юридически значимые протоколы, корректные критерии приёмки и браковки, а также исходную точку для оценки дрейфа нулевой отметки и стабильности чувствительности. Рекомендуется:
- до ввода прибора в эксплуатацию выполнить верификацию по стандартной течи с фиксацией времени отклика и фонового сигнала;
- в протоколе испытаний указывать условия (T, RH, давление), номинальное значение и неопределённость эталонной течи, а также схему подключения;
- при щуповом поиске утечек выдерживать скорость 0,10–0,15 м/мин и зазор ≤ 5 мм, избегая подачи He в зоне воздухозабора;
- контролировать состояние оснастки KF/CF и уровень фонового He в помещении (≈ 5 ppm).
Метрологические характеристики
|
Параметр
|
Значение
|
|
Диапазон измерений по вакуумному входу («Нормальный»), Па·м³/с
|
1×10−12 … 1×10−1
|
|
Диапазон измерений по вакуумному входу («Массивная течь»), Па·м³/с
|
1×10−9 … 1×10−1
|
|
Щуповой метод, Па·м³/с
|
5×10−9 … 1×10−2
|
|
Минимальный достоверный регистрируемый поток в вакуумном режиме
|
≤ 5×10−13 Па·м³/с
|
|
Относительная погрешность («Нормальный» режим)
|
±(0,15 + Qнпи/Qизм)·100 %
|
|
Относительная погрешность («Массивная течь»)
|
± 50 %
|
Примечание. Единица Па·м³/с выводится из уравнения состояния идеального газа (ГОСТ 8.417-2002, п. 5.2.1); Qнпи — нижний предел измерений, Qизм — измеренный поток утечки.
Основные технические характеристики
|
Габариты корпуса, мм (Д×В×Ш), не более
|
545 × 380 × 430
|
|
Масса, кг, не более
|
55
|
|
Электропитание
|
220 В ± 22; 50 Гц ± 1
|
|
Условия эксплуатации
|
+10…+35 °C; RH ≤ 80 % (без конденсации влаги); 84…106,7 кПа
|
|
Наработка на отказ, ч / Срок службы, лет
|
≥ 15 000 / ≈ 12
|
Эксплуатационные параметры
|
Максимальное допустимое давление начала вакуумных испытаний
|
≥ 2500 Па
|
|
Время отклика до 63 % установившегося сигнала
|
< 2 с
|
|
Время готовности к работе после включения
|
≤ 3 мин
|
|
Быстрота форвакуумной откачки (ULVAC GHD-031B)
|
≥ 30 л/мин
|
|
Совместимые газы для контроля
|
He-4, He-3, H2
|
|
Датчики давления
|
Пирани (входной тракт), ионизационный (анализатор)
|
