Турбомолекулярный насос подбирают как часть вакуумной системы. Для устойчивого процесса должны одновременно выполняться требования к давлению в камере, газовой нагрузке, форвакууму, охлаждению и управлению. Максимальная быстрота из названия модели описывает только одну часть задачи.
1. Определите рабочий газ и режим
Разделите откачку пустой камеры и работу с подачей газа. Укажите состав смеси, непрерывный и пиковый расход, требуемое давление и длительность процесса. Характеристики по азоту не следует автоматически переносить на гелий и водород: быстрота и степень сжатия зависят от газа и конструкции насоса.
2. Рассчитайте быстроту у камеры
Клапан, переходник и трубопровод уменьшают эффективную быстроту. При постоянной проводимости C используют Sэфф = S·C/(S+C). Например, насос 300 л/с за трактом с проводимостью 100 л/с даёт у камеры 75 л/с. Это условный расчёт, не характеристика конкретной модели KYKY. Значения проводимости выбирают для соответствующего газа и режима течения.
Для рабочей газовой нагрузки Q проверяют p = Q/Sэфф. Сопоставляйте давление в камере и на входе насоса: датчик около насоса может показывать более низкое значение, чем в технологической зоне.
3. Согласуйте форвакуумную ступень
Форвакуумный насос должен удалять прошедший через турбомолекулярную ступень поток при допустимом выходном давлении. Проверяют не только установившийся режим, но и запуск, напуск и кратковременное увеличение нагрузки. Условия включения и максимально допустимое форвакуумное давление берут из руководства точного исполнения.
4. Проверьте механическую и тепловую совместимость
- Тип и размер входного и выходного фланцев.
- Разрешённое положение, крепление и защита входа.
- Тип подшипников и требования к обслуживанию.
- Воздушное или водяное охлаждение и доступные условия площадки.
- Контроллер, питание, сигналы готовности и блокировки.
- Применимость к конкретным газам, парам и загрязнениям.
5. Задайте проверяемый результат
В техническом задании отдельно указывают время откачки, рабочее давление при подаче газа и предельное давление чистой системы. Приёмочная проверка должна фиксировать температуру, состояние камеры, положение клапанов и точки измерения. Нельзя подтверждать производственный цикл только испытанием насоса с заглушенным входом.
Что отправить для подбора
Нужны схема камеры и магистрали, объём, рабочие газы и расходы, диапазон давлений, время цикла, имеющаяся форвакуумная ступень и условия охлаждения. Если часть данных неизвестна, отметьте её явно: это позволит выбрать необходимые расчёты и измерения до окончательной комплектации.
Турбомолекулярные насосы в каталоге KYKY · Каталог оборудования · Технический запрос