Гибкие вакуумные сильфоны Leaklab
Гибкие вакуумные сильфоны Leaklab представляют собой гофрированные рукава из нержавеющей стали с присоединительными фланцами стандартов KF и ISO для встраивания в вакуумные линии различного назначения. Назначение сильфона заключается в том, чтобы компенсировать несовпадение осей, тепловые деформации и вибрации между узлами установки, не ухудшая вакуумные характеристики системы и не создавая дополнительных утечек. В отличие от обычных металлических шлангов, сильфоны Leaklab проходят 100-процентную проверку на герметичность с применением масс-спектрометрического гелиевого течеискателя в чувствительности способа обдува. Это позволяет гарантировать отсутствие сквозных дефектов и применять их в высокочувствительных установках контроля герметичности, в том числе работающих по ГОСТ Р 50.05.01-2018.
Производство и входной контроль выполняются в лаборатории Ликлаб. Каждый сильфон тестируется под вакуумом с подачей гелия снаружи или изнутри (в зависимости от конфигурации) и сопроводительно оформляется паспортом и заключением о герметичности от аттестованной лаборатории. Такое оформление важно для предприятий ОПК, криогенной техники, энергетики и приборостроения, где требуется прослеживаемость и документальное подтверждение испытаний. Применение гелиевого течеискателя на этапе контроля исключает риск скрытых микроутечек, которые нельзя обнаружить манометрическими методами.
Конструкция сильфона подбирается под проводимость конкретной вакуумной линии. При эксплуатации необходимо, чтобы гидравлический (в вакууме — газодинамический) диаметр и длина гибкого участка не ограничивали быстроту откачки насосов. Поэтому при выборе рукава учитывают не только диаметр фланцев, но и длину гофры и характер течения: при 10 Па преобладает вязкостный режим и проводимость зависит от длины, при давлении ниже 0,1 Па — молекулярный режим, и проводимость определяется преимущественно диаметром. Ликлаб при подборе изделий обращает внимание именно на этот фактор и рекомендует сильфоны с таким сечением, чтобы их проводимость была не ниже быстроты откачки существующих насосов, особенно в линиях между турбомолекулярным и объектом испытаний.
Маркировка выполняется в виде ВН-[Фланец]-[Длина]-[Исполнение]. Например, ВН-KF-16-2000-П — изделие на фланцах KF-16 длиной 2000 мм с прямым присоединением; ВН-KF-40-100-4000-У — сильфон на KF-40 длиной 4 м с угловым (отклонённым на 90 градусов) одним из фланцев, что удобно при подключении к течеискателю или к боковому порту вакуумной камеры.
Типовые модели и проводимость
| Артикул | Фланец | Длина, мм | Проводимость при 10 Па (вязкостный режим), м³/ч | Проводимость в молекулярном режиме, м³/ч |
|---|---|---|---|---|
| ВН-KF-16-500-П | KF-16 | 500 | 32,1 | 3,6 |
| ВН-KF-16-1000-П | KF-16 | 1000 | 16,0 | 1,8 |
| ВН-KF-16-1500-П | KF-16 | 1500 | 10,7 | 1,2 |
| ВН-KF-16-2000-П | KF-16 | 2000 | 8,0 | 0,9 |
| ВН-KF-25-500-П | KF-25 | 500 | 191,3 | 13,6 |
| ВН-KF-25-1000-П | KF-25 | 1000 | 95,6 | 6,8 |
| ВН-KF-25-2000-П | KF-25 | 2000 | 47,8 | 3,4 |
| ВН-KF-25-4000-П | KF-25 | 4000 | 23,9 | 1,7 |
| ВН-KF-40-1000-П | KF-40 | 1000 | 626,7 | 27,9 |
| ВН-KF-40-3000-П | KF-40 | 3000 | 208,9 | 9,3 |
| ВН-ISO-100-1000-П | ISO-100 | 1000 | 24 480,0 | 435,6 |
| ВН-ISO-100-4000-П | ISO-100 | 4000 | 6 120,0 | 108,9 |
Контроль герметичности
Лаборатория Ликлаб применяет масс-спектрометрические гелиевые течеискатели того же класса, что используются при контроле герметичности криогенных резервуаров и вакуумных камер. Проверка выполняется по схеме обдува гелием с достижимой чувствительностью способа 1×10⁻⁹…1×10⁻¹⁰ Па·м³/с. Это выше, чем фактические требования к большинству вакуумных линий, поэтому сильфоны можно без дополнительной проверки устанавливать в высоковакуумные посты, на вход турбомолекулярных насосов, на обвязку течеискателей и в мобильные комплекты вакуумирования. Для каждого изделия оформляется паспорт и протокол испытаний, что важно при поставках на предприятия с обязательным входным контролем.
При проектировании трассы с гибкими сильфонами необходимо учитывать, что при снижении давления до области молекулярного течения проводимость падает и становится сопоставимой с проводимостью самого насоса. Поэтому при длинных гибких участках предпочтительно применять фланцы большего диаметра (KF-40, ISO-100), а при необходимости поворота на 90 градусов использовать исполнение с угловым присоединением, чтобы не наращивать лишнюю длину. Ликлаб подбирает сильфоны именно по критерию проводимости, а не только по геометрическому диаметру.