Вакуумные затворы KYKY

Вакуумные затворы KYKY предназначены для установки в состав высоковакуумных и сверхвысоковакуумных систем, где требуется гарантированное перекрытие потока, низкий уровень утечки и возможность частого циклирования без ухудшения герметичности. Конструкция затворов разработана на основе тонкопрофильных дисковых клапанов и рассчитана на монтаж в линии с минимальным увеличением монтажной длины. Это позволяет применять их в вакуумных камерах, линиях напыления, измерительных стендах, откачных постах и установках контроля герметичности, в том числе при работе с гелиевыми течеискателями.

Основные элементы затворов KYKY изготавливаются из коррозионностойкой нержавеющей стали 304, а узлы, воспринимающие нагрузку от привода и контактирующие с атмосферой, выполняются из 316L для повышения долговечности и термостойкости. Запорная пластина имеет эластомерное уплотнение из фторкаучука (FKM, Viton-тип), обладающее малой газопроницаемостью и устойчивостью к многократным вакуумным циклам. Такое решение обеспечивает уровень утечки не хуже 1,3×10⁻¹⁰ Па·м³/с в диапазоне давлений от 10⁵ до 10⁻⁷ Па при сохранении компактных габаритов.

Линейка вакуумных затворов KYKY включает исполнения с ручным приводом, с электрическим приводом и с пневматическим приводом. Ручные затворы предназначены для лабораторных и сервисных установок, где операции включения выполняются оператором и не требуется интеграция в АСУ ТП. Электрические затворы ориентированы на автоматизированные технологические линии и вакуумные стенды, где необходимо получать сигнал о положении клапана и задавать режимы дистанционно. Пневматические затворы предназначены для высокочастотного переключения и обеспечивают минимальное время открытия и закрытия при сохранении герметичности. Для всех вариантов допускается монтаж в любом пространственном положении, что важно при компоновке плотных вакуумных модулей.

Входные и выходные присоединения выполняются под стандарты CF, ISO-K и ISO-F, что упрощает встраивание затворов в существующие магистрали и позволяет использовать их совместно с вакуумными насосами KYKY (турбомолекулярными и пластинчато-роторными), с форвакуумными постами и с измерительными узлами на базе ионизационных и Пирани-вакуумметров. При необходимости затвор может устанавливаться непосредственно на вход турбомолекулярного насоса и использоваться как запорный при обслуживании насоса или системы.

Конструкция привода у затворов KYKY выполнена мембранного типа, без вывода штока в атмосферу. Это исключает подсос через сальниковые уплотнения и позволяет эксплуатировать клапан в системах со сверхнизким фоном гелия и с масс-спектрометрическим контролем. При изготовлении учитывается возможность отжига: корпус и привод допускают прогрев до 150 °C при открытом положении и до 120 °C при закрытом, что соответствует требованиям к подготовке UHV-систем. Сохранение герметичности при отжиге подтверждается на уровне не хуже паспортного.

Вакуумные затворы KYKY применяются в составе гелиевых течеискательных установок, где требуется разобщать камеру и насосный пост, переключать линии подачи гелия и изолировать высоковакуумную часть от атмосферного участка. Низкий собственный уровень утечки позволяет использовать такие затворы в методах обдува гелием и в методах вакуумной камеры без внесения значимого дополнительного фонового сигнала. Это особенно важно для испытательных комплексов, которые поставляет и эксплуатирует лаборатория «Ликлаб», поскольку для достоверного контроля герметичности требуется сохранять фоновый уровень утечки на уровне чувствительности течеискателя.

Лаборатория «Ликлаб» и компания «ВАКТРОН» используют вакуумные затворы KYKY в составе своих камер Leaklab V-серии, в системах вакуумирования криогенных резервуаров и в учебно-испытательных установках по ГОСТ Р 50.05.01-2018. В этих системах затворы работают в условиях частых переключений, при установке в вертикальном и горизонтальном положении и при периодическом вакуумном прогреве. Практическая эксплуатация показала, что затворы KYKY сохраняют герметичность на уровне 10⁻¹⁰ Па·м³/с, имеют стабильный ход без вибраций и не вызывают дополнительного загрязнения вакуумной среды.

Типовой диапазон диаметров по серии — от DN35 до DN400. Для всех типоразмеров сохраняются одинаковые требования к герметичности, диапазону давления и температуре прогрева. Это позволяет проектировать вакуумные системы с унифицированными узлами, когда малая арматура (DN35–DN63) и крупная арматура (DN200–DN400) имеют единые принципы монтажа, одинаковые фланцевые стандарты и одинаковые требования к испытаниям на герметичность. При необходимости затворы могут комплектоваться концевыми выключателями, магнитными датчиками положения и переходными фланцами на KF.

Пример технических параметров

При подборе вакуумных затворов KYKY для конкретной установки рекомендуется учитывать проводимость участка магистрали, тип рабочей среды (воздух, азот, гелий), число циклов открытия/закрытия и требуемый способ управления. Для систем с гелиевым течеисканием и вакуумными камерами Ликлаб поставляет затворы уже проверенными на утечку масс-спектрометрическим методом, что позволяет сразу вводить арматуру в эксплуатацию без дополнительного входного контроля.