Турбомолекулярный насос на магнитном подвесе KYKY CXF-200/1401CS

Турбомолекулярный насос на магнитном подвесе KYKY CXF-200/1401CS. Техническая карточка KYKY на русском языке. Подбор и конфигурация выполняются по запросу.

Подробнее

Описание

Турбомолекулярный насос на магнитном подвесе KYKY CXF-200/1401CS

Турбомолекулярный насос на магнитном подвесе KYKY CXF-200/1401CS — русская техническая карточка оборудования KYKY для инженерного подбора и подготовки конфигурации под задачу заказчика.

Лаборатория LeakLab является официальным представителем KYKY в России и выполняет поставку оборудования и компонентов, сервисные работы, а также услуги по контролю герметичности установок и систем. Контакты для подбора: info@kyky.info, +7-812-715-00-17.

Назначение

Чистая высоковакуумная и сверхвысоковакуумная откачка для полупроводниковых процессов, травления, CVD, PVD, ионной имплантации, вакуумного напыления и научного оборудования.

Принцип работы и исполнение

Пятиосевой активный магнитный подвес без механического контакта и смазки; насосы рассчитаны на чистую откачку и длительную работу с коррозионными или конденсируемыми технологическими газами.

Конструктивные особенности

без смазки, чистый высокий и сверхвысокий вакуум
длительная откачка коррозионных газов
монтаж под любым углом
низкое энергопотребление и отсутствие трения
интерфейсы внешнего управления и связи
защитные подшипники и функция генерации энергии при внезапном отключении питания

Технические характеристики

Модель	CXF-200/1401CS
Семейство	Турбомолекулярный насос на магнитном подвесе
Принцип / исполнение	Пятиосевой активный магнитный подвес без механического контакта и смазки; насосы рассчитаны на чистую откачку и длительную работу с коррозионными или конденсируемыми технологическими газами.
Скорость откачки	N2: 1401 л/с, по обозначению модели и таблицам каталога
Входное присоединение	номинальный входной фланец DN200 для соответствующего исполнения
Опора / подшипник	активный магнитный подвес с защитными подшипниками
Статус числовых данных	часть параметров сохранена в исходных таблицах PDF и будет перенесена при финальном объединении каталогов

Компоненты и совместимость

Модель	CXF-200/1401CS
Семейство	maglev_turbopumps
Раздел оборудования	Вакуумные насосы
Подбор ответных компонентов	по фланцам, диапазону давления, контроллерам, кабелям, приводу и условиям эксплуатации

Области применения

вакуумные технологические линии
научные и аналитические приборы
производственный контроль герметичности
полупроводниковые, оптические, аэрокосмические и приборостроительные задачи

Условия эксплуатации

Рабочая среда, монтажное положение, температура, питание, управляющие сигналы и допустимые нагрузки выбираются по конкретному исполнению. Неподтвержденные числовые параметры в карточку не добавляются.

Стандартная поставка

Изделие KYKY в выбранном исполнении, базовая заводская комплектация и маркировка модели. Кабели, контроллеры, ответные фланцы, уплотнения и вспомогательные узлы подбираются отдельно, если они не входят в конкретное исполнение.

Опции

Возможны подбор фланцев, кабелей, контроллеров, приводов, форвакуумной ступени, измерительных каналов и специальной конфигурации под вакуумную систему.

Связанные модели KYKY

Запрос коммерческого предложения

Для подбора конфигурации и получения предложения отправьте запрос через форму сайта, напишите на info@kyky.info или позвоните по телефону +7-812-715-00-17.

Назад к списку