Описание
Линия ионной имплантации и магнетронного напыления KYKY
Линия ионной имплантации и магнетронного напыления KYKY — русская техническая карточка оборудования KYKY для инженерного подбора и подготовки конфигурации под задачу заказчика.
Лаборатория LeakLab является официальным представителем KYKY в России и выполняет поставку оборудования и компонентов, сервисные работы, а также услуги по контролю герметичности установок и систем. Контакты для подбора: info@kyky.info, +7-812-715-00-17.
Назначение
Система для имплантации металлических ионов в поверхность кварцевых изделий и нанесения многослойных металлических покрытий.
Принцип работы и исполнение
Принцип и исполнение указаны по семейству оборудования и модели.
Конструктивные особенности
- отдельные вакуумные камеры для ионной имплантации, магнетронного напыления и отжига
- соединение камер шиберными клапанами
- перемещение оснастки по направляющим между камерами
- автоматический процесс от входа держателя в камеру имплантации до камеры отжига
Технические характеристики
| Предельный вакуум | ≤5×10^-5 Па |
|---|---|
| Неравномерность толщины пленки | ≤5 % |
| Максимальная температура | 500 °C |
| Точность регулирования температуры | ±1 °C |
| Система напыления | 6 распылительных мишеней |
| Скорость роста давления | ≤0.67 Па/ч |
| Точность позиционирования | ≤±0.5 мм |
| Технологии | многокамерная вакуумная связь, имплантация одиночных металлов и других материалов |
Компоненты и совместимость
| Модель | ion-implantation-and-magnetron-sputtering-continuous-coating-machine |
|---|---|
| Семейство | vacuum_process_equipment |
| Раздел оборудования | Вакуумные системы и установки |
| Подбор ответных компонентов | по фланцам, диапазону давления, контроллерам, кабелям, приводу и условиям эксплуатации |
Области применения
- вакуумные технологические линии
- научные и аналитические приборы
- производственный контроль герметичности
- полупроводниковые, оптические, аэрокосмические и приборостроительные задачи
Условия эксплуатации
Рабочая среда, монтажное положение, температура, питание, управляющие сигналы и допустимые нагрузки выбираются по конкретному исполнению. Неподтвержденные числовые параметры в карточку не добавляются.
Стандартная поставка
Изделие KYKY в выбранном исполнении, базовая заводская комплектация и маркировка модели. Кабели, контроллеры, ответные фланцы, уплотнения и вспомогательные узлы подбираются отдельно, если они не входят в конкретное исполнение.
Опции
Возможны подбор фланцев, кабелей, контроллеров, приводов, форвакуумной ступени, измерительных каналов и специальной конфигурации под вакуумную систему.
Связанные модели KYKY
- Сверхчистая высоковакуумная откачная система KYKY
- Вакуумная система откачки и газонаполнения лазерных гироскопов KYKY
- Высокотемпературная высоковакуумная система дегазации KYKY
- Трехпозиционная вакуумная система переноса катодов KYKY
- Высоковакуумная система нанесения светоблокирующих пленок MCP KYKY
- Вакуумная печь пайки и отжига KYKY
- Комплексный вакуумный стенд моделирования факторов ближнего космоса KYKY
- Вакуумная климатическая камера с жидкоазотным охлаждением KYKY
- Термовакуумная система моделирования космической среды KYKY
- Гелиевая система контроля герметичности сверхвысоковольтных трубопроводов KYKY
- Автоматическая гелиевая масс-спектрометрическая система контроля автокомпонентов KYKY
- Гелиевая установка контроля герметичности конденсаторов и испарителей KYKY
- Ионный напылитель для подготовки образцов SEM KYKY SBC-12
- Многопозиционный вакуумный шкаф хранения KYKY
Запрос коммерческого предложения
Для подбора конфигурации и получения предложения отправьте запрос через форму сайта, напишите на info@kyky.info или позвоните по телефону +7-812-715-00-17.